​ Was ist Ultraschall-Sprühbeschichtung?

  Was ist Ultraschall-Sprühbeschichtung?

Beim Ultraschallspritzen , auch genannt Ultraschallbeschichten , handelt es sich um ein Sprühverfahren, bei dem die Ultraschallzerstäubungstechnologie zum Einsatz kommt . Das versprühte Material befindet sich zunächst im flüssigen Zustand. Die Flüssigkeit kann eine Lösung, ein Sol, eine Suspension usw. sein. Die flüssige Beschichtung wird zunächst durch ein Ultraschallzerstäubungsgerät in feine Partikel zerstäubt und dann mit einer bestimmten Menge Trägergas gleichmäßig auf die Oberfläche des Substrats aufgetragen, wodurch eine Beschichtung oder ein Film entsteht. Der größte Unterschied zwischen Ultraschallsprühen und herkömmlichem Ein- oder Zweiflüssigkeitssprühen besteht darin, dass die Zerstäubungsvorrichtung oder Zerstäubungsdüse eine Ultraschallzerstäubungsvorrichtung, also eine Ultraschalldüse, verwendet.

Im Vergleich zum herkömmlichen Zweistoffspritzen bietet das Ultraschallspritzen die Vorteile einer hohen Gleichmäßigkeit der Beschichtung, einer hohen Rohstoffausnutzung, einer hohen Kontrollgenauigkeit der Schichtdicke, einer geringeren Schichtdicke, weniger Spritzern, keine Verstopfung der Düsen und niedrige Wartungskosten. Im Vergleich zu Beschichtungsverfahren wie Vakuumverdampfung und CVD ist das Ultraschallsprühen ein wirtschaftlicheres Dünnschichtbeschichtungsverfahren, insbesondere bei der Herstellung großflächiger Dünnschichten sind die Gerätekosten für das Ultraschallsprühen niedriger als für Vakuumbeschichtungsgeräte.

Die Hauptvorteile des Ultraschallspritzens sind:

1. Hohe Gleichmäßigkeit der Beschichtung

Die Gleichmäßigkeit der Verteilung der von der Flüssigkeit zerstäubten Partikel der Ultraschall-Sprühdüse Wirkungsgrad Der ist deutlich höher als der der Zweistoffdüse, die allgemein als Luftspritzpistole bekannt ist, so dass die Gleichmäßigkeit der Beschichtung nach dem Aufsprühen mit der Ultraschalldüse verbessert wird. Unter normalen Umständen kann die Gleichmäßigkeit der Beschichtung beim Ultraschallspritzen mehr als 95 % erreichen.

2. Hohe Rohstoffausnutzung, weniger Spritzer

Da es sich beim Ultraschallsprühen um eine Flüssigkeitszerstäubung durch einen Ultraschallwandler handelt, ist für den Beschichtungszerstäubungsprozess kein Gas erforderlich, d. Es reduziert den Flüssigkeitsrückprall und das Spritzen, die durch die Hochdruckluft mit zwei Flüssigkeiten verursacht werden, erheblich und verbessert so die Ausnutzungsrate der Beschichtung erheblich. Die Rohstoffausnutzungsrate beim Ultraschallspritzen ist mehr als viermal so hoch wie beim normalen Luftspritzen und die Ausnutzungsrate kann mehr als 90 % erreichen.

3. Hohe Präzision der Schichtdickenkontrolle

Der Hauptfaktor, der die Genauigkeit der Beschichtungsdicke beeinflusst, ist die Sprühdurchflussrate der Beschichtung, also die Materialmenge, die pro Zeiteinheit auf das Substrat aufgetragen wird. Der Die Ultraschalldüse hat keinen Druckeffekt auf die Flüssigkeit, sodass die Durchflussrate der versprühten Beschichtungsflüssigkeit vollständig durch die hochpräzise Dosierpumpe gesteuert werden kann, wodurch eine hochpräzise Sprühflusssteuerung realisiert wird. Beispielsweise hat eine hochpräzise Spritzenpumpe eine Durchflussregelgenauigkeit von bis zu Pikolitern pro Sekunde, und durch das Mikrokanaldesign der Ultraschalldüse kann auch eine Gesamtregelgenauigkeit von Nanolitern pro Sekunde erreicht werden.

4. Die Beschichtungsdicke ist dünn und beträgt bis zu mehreren zehn Nanometern

Da das Sprühvolumen der Ultraschalldüse eine sehr niedrige und stabile Durchflussrate (0,001 ml/min) erreichen kann, kann eine sehr geringe Belastung des Substrats erreicht werden, wodurch ein sehr dünner Trockenfilm entsteht. Bei einigen Nanomaterialien kann die Trockenfilmdicke nur einige zehn Nanometer betragen. Es kann zur Herstellung von Glasfolien wie transparenten leitfähigen Folien, Antireflexions- und Antireflexionsfolien, Wärmeisolationsfolien sowie hydrophilen und hydrophoben Folien verwendet werden.

5. Die Düse ist nicht verstopft und die Wartungskosten sind gering

Da die Ultraschalldüse die Flüssigkeitszerstäubung durch einen Ultraschallwandler erreicht und die zerstäubten Partikel durch die Frequenz des Ultraschallwandlers bestimmt werden, unterscheidet sie sich von der Zweistoffdüse. Der Düsendurchmesser muss nicht klein sein, um fein zerstäubte Partikel zu erzielen, wodurch die Gefahr einer Düsenverstopfung verringert wird.